INFICON真空计压力计

INFICON CDG025D电容膜片真空计

产品分类:INFICON真空计压力计

  • 产品介绍

         INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机,在苛刻的生产环境中具有稳定的性能,数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整,抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。传感器屏敝保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性,长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。

     

                 
        ◆   全刻度范围从100毫乇…1000乇
        ◆   电源接通后的快速稳定性
        ◆   暴露大气压后的快速恢复性
        ◆   抗腐蚀性陶瓷传感监测器
        ◆   卓越的长期讯号稳定性
        ◆   温度补偿
        ◆   保护传感器防止污染
        ◆   一键调零功能
        ◆   宽范围电源
        ◆   2个设点(选项)
        ◆   RS232接口(选项)
     
                    
    要求高的应用条件下,精确而快速的压强测量:
        ◆   用于刻蚀,CVD, PVD, ALD半导体制造设备
        ◆   资料贮存和显示器制造设备
        ◆   工业真空设备
        ◆   常用高精度真空测量
     
            
    CDG025D,温度补偿型
    全刻度范围                              法兰型式
    Torr
    Pascal
    Mbar
    1/2”tube
    DN 16 ISO-KF
    DN 16 CF-R
    8 VCR
    1000
    133322
    1333
    375-000
    375-001
    375-002
    375-003
    100
    13332
    133
    376-000
    376-001
    376-002
    376-003
    10
    1333
    13.3
    377-000
    377-001
    377-002
    377-003
    1
    13.3
    0.13
    378-000
    378-001
    378-002
    378-003
    0.1
    13.3
    0.13
    379-000
    379-001
    379-002
    379-003
     
    CDG025D, 温度补偿型,带2个设点和RS232接口
    全刻度范围                             法兰型式
    Torr
    Pascal
    Mbar
    1/2”tube
    DN 16 ISO-KF
    DN 16 CF-R
    8 VCR
    1000
    133322
    1333
    375-300
    375-301
    375-302
    375-303
    -
    110000
    1100
    375-500
    375-501
    375-502
    375-503
    200
    26664
    267
    382-300
    382-301
    -
    -
    100
    13332
    133
    376-300
    376-301
    376-302
    376-303
    -
    10000
    100
    376-500
    376-501
    376-502
    376-503
    20
    2666
    26.7
    -
    -
    -
    -
    10
    1333
    13.3
    377-300
    377-301
    377-302
    377-303
    -
    1000
    10
    377-500
    377-501
    377-502
    377-503
    1
    133
    1.3
    378-300
    378-301
    378-302
    378-303
    -
    100
    1
    378-500
    378-501
    378-502
    378-503
    0.25
    33.3
    0.33
    385-300
    385-301
    385-302
    385-303
    0.1
    13.3
    0.13
    379-300
    379-301
    379-302
    379-303
    -
    10
    0.1
    319-500
    379-501
    379-502
    379-503

     

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